报告题目：Laser Precision Engineering: from Microprocessing to Nanofabrication（激光精密工程:从微加工到纳米制造）

报告时间：5月21日上午10：00

报告地点：崂山校区D3-530，机电工程学院会议室

报告人：洪明辉院士（National University of Singapore新加坡国立大学）

邀请单位：机电工程学院、智能制造学院

邀请人：何燕教授、林健健教授

摘要

激光精密工程作为一种非接触式工艺，具有独特的优点：如在空气、真空或液体环境中设置灵活、加工速度快。在过去的几十年里，我们见证了它在从学术研究到生产线的广泛应用。

1. 综述激光与材料的动态相互作用和实时信号诊断的研究进展；

2. 如何实现小热影响区（HAZ）是高质量激光微加工和纳米制造的关键问题。混合激光加工可以实现对热敏基片、超薄基片等难加工基片的激光精密加工。激光与材料相互作用的优化为克服亚波长表面图案的光学衍射极限提供了新的途径。结合先进的AFM和NSOM方法，可将激光加工分辨率降低到50 nm以下；

3. 为了解决慢速激光纳米加工的技术瓶颈，发展了并行（多光束）和无掩模激光加工技术。基于激光产生等离子体（LPP）EUV光源和用于原子工程的原子沉积的灵活激光操作，将讨论激光材料相互作用以满足22 nm及以下的潜在和挑战。

嘉宾介绍：

洪明辉院士

洪明辉教授是激光光学领域的著名学者和领军人物，长期从事激光微纳加工及检测技术研究，在激光微制造、激光清洗、激光焊接及光学检测等领域开展国际领先水平的研究工作。本科和硕士均毕业于厦门大学物理学系，2000年获新加坡国立大学博士学位，现任新加坡国立大学光学科学与工程中心主任、终身正教授和博士生导师。洪教授是新加坡工程院院士（SAEng）、美国光学学会（OSA）会士、国际光学工程学会（SPIE）会士、国际光子与激光工程学会（IAPLE）会士及副主席,新加坡工程师学会（IES）会士及副主席，他已在Chemical Reviews, Nature, Nature Nanotechnology (also featured in journal front page), Nature Photonics (research highlight), Nature Communications, Nano Letters, Advanced Materials和ACS Nano等国际一流学术刊物发表400余篇论文，拥有42项美国、德国和新加坡专利，其中24项已获发明授权，2项已经产业化生产。

洪明辉教授是Opto-Electronic Advances执行主编，国际期刊Light: Science and Applications（Nature子刊）、Scientific Reports（Nature子刊）、Journal of Laser Micro/nanoengineering和《中国科学》：G等高水平学术期刊的编委。

洪明辉教授曾获“东盟杰出工程成就奖”、新加坡工程师学会“权威工程成就奖”和教育部教育服务奖。洪教授也是新加坡光科技有限公司主席。